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芯明天超高精度P21壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)

更新時(shí)間: 2018-11-19

芯明天新推出P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)為一維θz旋轉(zhuǎn)臺(tái),產(chǎn)品體積小巧,大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad,承載能力達(dá)2kg,可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

 

特性

·θz旋轉(zhuǎn)

·大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad

·閉環(huán)定位精度高

·體積小巧

 

典型應(yīng)用

·光路調(diào)整

·光束掃描

·干涉/計(jì)量

 

小體積、高分辨率、高精度

P21θz一維旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,可以實(shí)現(xiàn)大8.5mrad的旋轉(zhuǎn),體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。

采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),無(wú)摩擦、無(wú)回差,可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度,在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

技術(shù)參數(shù)

P21.R7S

運(yùn)動(dòng)自由度:θz

標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)角度(0~120V):6mrad(~1200秒)   

大旋轉(zhuǎn)角度(-20~150V) :8.5mrad(~1700秒)

傳感器類型:SGS

閉環(huán)分辨率:0.4μrad(~0.08秒)

閉環(huán)線性度:0.5%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.2%F.S.

推/拉力:10/5N

運(yùn)動(dòng)方向剛度:1N/μm

空載諧振頻率:1.1kHz

大承載:2kg

靜電容量:1.8μF

材質(zhì):鋁

重量:105g

 

應(yīng)用實(shí)例

P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以與芯明天任意平臺(tái)或傾斜臺(tái)配合使用,組成多軸精密壓電定位臺(tái),用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。

 

 

推薦控制器

P21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái),單通道壓電控制器即可驅(qū)動(dòng)控制,閉環(huán)版本P21推薦配套E01系列閉環(huán)控制器,實(shí)現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。

 

E01.D1壓電控制器

 

·E01.D1

·0~120V/150V輸出

·平均功率7W/35W

·上位機(jī)通信、模擬、旋鈕控制

 

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