芯明天超高精度P21壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)
芯明天新推出P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)為一維θz旋轉(zhuǎn)臺(tái),產(chǎn)品體積小巧,大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad,承載能力達(dá)2kg,可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
特性
·θz旋轉(zhuǎn)
·大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad
·閉環(huán)定位精度高
·體積小巧
典型應(yīng)用
·光路調(diào)整
·光束掃描
·干涉/計(jì)量
小體積、高分辨率、高精度
P21θz一維旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,可以實(shí)現(xiàn)大8.5mrad的旋轉(zhuǎn),體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸僅為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。
采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),無(wú)摩擦、無(wú)回差,可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度,在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。
技術(shù)參數(shù)
P21.R7S
運(yùn)動(dòng)自由度:θz
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)角度(0~120V):6mrad(~1200秒)
大旋轉(zhuǎn)角度(-20~150V) :8.5mrad(~1700秒)
傳感器類型:SGS
閉環(huán)分辨率:0.4μrad(~0.08秒)
閉環(huán)線性度:0.5%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.2%F.S.
推/拉力:10/5N
運(yùn)動(dòng)方向剛度:1N/μm
空載諧振頻率:1.1kHz
大承載:2kg
靜電容量:1.8μF
材質(zhì):鋁
重量:105g
應(yīng)用實(shí)例
P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以與芯明天任意平臺(tái)或傾斜臺(tái)配合使用,組成多軸精密壓電定位臺(tái),用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。
推薦控制器
P21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái),單通道壓電控制器即可驅(qū)動(dòng)控制,閉環(huán)版本P21推薦配套E01系列閉環(huán)控制器,實(shí)現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。
E01.D1壓電控制器
·E01.D1
·0~120V/150V輸出
·平均功率7W/35W
·上位機(jī)通信、模擬、旋鈕控制
17051647888
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