產品應用
電容傳感器可以直接測量的非電量為:直線位移、角位移及介質的幾何尺寸(或稱物位),直線位移及角位移可以是靜態(tài)的,也可以是動態(tài)的,例如是直線振動及角振動。用于上述三類非電參數(shù)變換測量的變換器一般說來原理比較簡單,無需再作任何預變換。
用來測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時常將被測物作為傳感器的一個極板,而另一個電極板在傳感器內。近年來已采用這種方法測量油膜等物質的厚度。這類傳感器的動態(tài)范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結構的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達到0.1μm,分辨力為0.025μm??梢詫崿F(xiàn)非接觸測量,它加給被測對象的力極小,可忽略不計。
測物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉換元件。電容式傳感器還可用于測量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當電容傳感器用于測量其他物理量時,必須進行預變換,將被測參數(shù)轉換成d,S或ε的變化。例如在測量壓力時,要用彈性元件先將壓力轉換成d的變化。