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芯明天大負(fù)載XP-63X高精度壓電納米定位臺

更新時間: 2018-11-19

芯明天XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅(qū)X軸運動定位臺,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),具有剛度大、分辨率高、響應(yīng)速度快等特點,可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

 

特點

· 1~3維自由組合

· 大行程68μm

· 大承載5kg

· 亞毫秒響應(yīng)時間

 

體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率,響應(yīng)時間可以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負(fù)載,響應(yīng)時間僅為5ms。XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設(shè)備集成。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器,可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正,從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

 

技術(shù)參數(shù)

XP-633.XS

運動自由度: X

標(biāo)稱行程范圍(0~120V):48μm

大行程范圍(-20~150V):68μm

傳感器類型:SGS

閉環(huán)分辨率:2nm

閉環(huán)線性度:0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.

推/拉力:480/80N

剛度:10N/μm

空載諧振頻率:1.5kHz

大承載:5kg

靜電容量:7.2μF

材質(zhì):鋁

重量:450g

 

應(yīng)用實例

采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的力控制實驗。

 

XP-633壓電納米定位臺配套二維宏動臺組成宏微復(fù)合機構(gòu),應(yīng)用于精密加工中。

 

推薦控制器

XP-633為一維壓電納米定位臺,推薦使用E53.D小體積壓電控制器,體積小巧,易于集成。

 

 

E53.D壓電控制器

 

·E53.D

·0~120V/150V輸出

·模擬、上位機通信控制

·帶寬10kHz

·尺寸80×148×27.5mm

 

kerning:1.0000pt;" >E01.D1壓電控制器

 

 

·E01.D1

·0~120V/150V輸出

·平均功率7W/35W

·上位機通信、模擬、旋鈕控制

 

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