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P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm$n壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),補(bǔ)償量小,偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運(yùn)動(dòng)精度和高穩(wěn)定性,通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
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