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產(chǎn)品名稱:P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm
壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動,補償量小,偏轉鏡具有較好的運動精度和高穩(wěn)定性,通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2025-02-24

P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm的詳細資料:

P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動,補償量小,偏轉鏡具有較好的運動精度和高穩(wěn)定性,通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡提供兩軸的高速精密偏轉運動及Z軸直線升降運動,直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度,響應時間可達毫秒量級。P32系列壓電偏轉鏡體積小巧、結構緊湊,可實現(xiàn)6mrad偏轉,Z軸37.5μm的直線運動。

 

特性 P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm

• θx,θy二維偏轉及Z向升降運動,偏轉角度25mrad,直線位移37.5μm        • 閉環(huán)定位精度高         • 分辨率高        • 溫度穩(wěn)定性高         • 亞毫秒響應時間

 

高分辨率、高穩(wěn)定性及動態(tài)性

結構原理

 

P32壓電偏轉鏡體積緊湊,內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電促動器,集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷,比傳統(tǒng)的壓電促動器提供好的性能及可靠性。

P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動學的壓電陶瓷直驅式三腳架結構,數(shù)十億次的運動周期操作而*或性能下降,非常適合工業(yè)應用。

三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。這種設計具有體積小巧、兩軸具有相同的大小及動態(tài)性能、快的響應速度及好的線性度等優(yōu)勢,也防止了偏振旋轉。

P32偏轉鏡是基于3個壓電陶瓷機構設計而成的,由三支壓電陶瓷驅動,以120°角平分放置,采用坐標變換,運動可以分不同機構之間控制。這種結構設計除了可實現(xiàn)平臺的傾斜,也可實現(xiàn)平臺Z向的直線移動,可以用于校正光學路徑長度。其中, A、B、C表示測量的3點處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡便計算公式分別如下,

 

驅動控制

P32壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,與Z向升降運動配合,再通過控制電壓的大小,對一定的光路距離,可進行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。

 

 
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