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產(chǎn)品名稱：壓電物鏡定位器

產(chǎn)品型號：XD730.400S/K-B1

產(chǎn)品報價：

產(chǎn)品特點：壓電物鏡定位器，是一款 Z 向運動的物鏡 驅(qū)動平臺，它的行程大且承載能力達(dá) 0.5kg，非 常適于靜態(tài)定位應(yīng)用。

更新日期：2024-03-01

XD730.400S/K-B1壓電物鏡定位器的詳細(xì)資料：

壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點

 Z 向運動

 大行程范圍

 承載達(dá) 0.5kg

 可選配閉環(huán)傳感器

位移與電壓曲線

線性度曲線

產(chǎn)品應(yīng)用

 聚焦顯微

 激光加工

 Z 向定位與掃描

 表面結(jié)構(gòu)分析
    技術(shù)參數(shù)

型號

XD730.400S-B1

XD730.400K-B1

單位

運動方向

Z

Z

  

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）

400

400

μm±10%

行程范圍（0~150V）

500

500

 μm±10%

傳感器類型

SGS

-

  

分辨率

14

4

nm

閉環(huán)線性度

0.2

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05

-

%F.S.

空載諧振頻率

150

150

Hz±20%

靜電容量

28.8

28.8

μF±10%

承載能力

0.5

0.5

kg

重量

520

520

g±5%

臺體材料

鋁、鋼

鋁、鋼

  

      注：以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動電壓可在-20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0~120V。

壓電物鏡定位器

 
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