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產(chǎn)品名稱：超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：XD106.XYZ60K

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

產(chǎn)品特點(diǎn)：超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)，是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它是專為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì)

更新日期：2023-08-16

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XD106.XYZ60K超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)的詳細(xì)資料：

超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它是專為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可進(jìn)行XYZ三維掃描運(yùn)動(dòng)，采用低溫壓電驅(qū)動(dòng)，耐低溫可達(dá)4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無(wú)磁材料，采用低溫雙絞線，以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。

超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)

· 低溫真空無(wú)磁，耐低溫可達(dá)4K

· XYZ三維運(yùn)動(dòng)

· 4K溫度下位移達(dá)30μm/軸

· 分辨率可達(dá)2nm

· 開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 響應(yīng)速度快

產(chǎn)品應(yīng)用

· 半導(dǎo)體加工

· 半導(dǎo)體檢測(cè)

· 高精密測(cè)試和操作

· 其他真空無(wú)磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	XD106.XYZ60K
運(yùn)動(dòng)自由度	X、Y、Z
驅(qū)動(dòng)電壓	0~60V@常溫 0~150V@低溫4K
標(biāo)稱行程范圍（常溫）	70μm/軸 @0~60V，常溫
標(biāo)稱行程范圍（低溫）	30μm/軸 @0~150V，4K溫度
中心通孔直徑	10mm
分辨率	2nm
空載諧振頻率	X415/Y465/Z497Hz
帶載200g諧振頻率	XY105/Z229Hz
靜電容量	XY5.4μF，Z10.9μF
材質(zhì)	鈦
承載能力	200g
重量	220g
使用方向	倒置使用

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