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 P72系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦 穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

特點(diǎn)：

• 大行程110μm

• 大承載0.2kg

• 毫秒級響應(yīng)時間

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)/閉環(huán)可選

螺紋適配器便于安裝

P72物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預(yù)期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。

典型應(yīng)用

• 三維成像 • 干涉/計量

• 表面結(jié)構(gòu)分析 • 共焦顯微

• 生物科技 • 半導(dǎo)體測試

體積小巧、易于集成、高動態(tài)、直線性好

P72壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn) 大行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選，易于與其 他光學(xué)顯微鏡等集成。

臺體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，無摩擦且具有*的分辨 率。由于其空載諧振頻率可達(dá)350Hz，且可帶載200g負(fù)載 作高速精密運(yùn)動，在光學(xué)掃描、共焦顯微等領(lǐng)域得到廣泛 的應(yīng)用。

可選擇閉環(huán)版本，實現(xiàn)超高的定位精度。

頻率負(fù)載曲線 推薦控制器

P72系列壓電物鏡定位器技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。