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產(chǎn)品名稱:P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad
壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動,補償量小,偏轉鏡具有高的運動精度和穩(wěn)定性,通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2022-11-17

P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad的詳細資料:

P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad是以壓電陶瓷作為驅動元件,內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動,補償量小,偏轉鏡具有高的運動精度和穩(wěn)定性,通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad系列壓電偏轉鏡是專為大直徑鏡片而設計,可加載直徑達80mm的鏡片,它的差分驅動在較大溫度范圍內表現(xiàn)出出色的角度定位穩(wěn)定性。P34系列偏轉鏡允許頂部平臺在具有共同樞軸點(并聯(lián)運動)的兩個正交軸上進行高動態(tài)精密偏轉運動,多種鏡片安裝面可選,以獲得對不同鏡片材料的理想熱適應。開環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇,所有版本都具有亞微弧度分辨率,且傾斜角度可達6mrad(等于光束偏轉12mrad)。

 

特性

• θx,θy二維偏轉,偏轉角度6mrad                 • 閉環(huán)定位精度高                    • 分辨率高                 • 溫度穩(wěn)定性高                    • 亞毫秒響應時間

 

高穩(wěn)定性、線性度及動態(tài)性、使用壽命長  

  結構原理  

 

芯明天壓電俯仰/偏轉鏡系統(tǒng)是基于平行運動學設計,兩個方向偏轉運動共用同一個移動面。內部四個壓電促動器是成對的差分控制,決定了平臺俯仰/偏轉運動。這使得P34壓電傾斜鏡在較大溫差變化范圍的環(huán)境中具有較好的角度定位穩(wěn)定性。

內部采用芯明天疊堆型壓電促動器可保證可靠性。特殊樹脂絕緣使其可抵抗環(huán)境濕度及漏電流故障。所以在可靠性及壽命上遠優(yōu)于傳統(tǒng)壓電促動器。

偏轉鏡(兩軸)是基于4個壓電陶瓷結構設計而成,每軸采用兩個壓電陶瓷,以推拉模式形成偏擺運動,采用橋式連接電路控制。四個執(zhí)行機構(壓電促動器)以90°角平分放置,是成對的差異控制分布形式。

通過差分結構的設計可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩(wěn)定性,這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺的垂直方向定位,而對角度定位則沒有影響,在閉環(huán)下,可以保證系統(tǒng)的線性度和分辨率。

 

 

 
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