壓電納米定位臺小體積、高精度、響應速度快,定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng),是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的,具有超低慣性,響應時間可達0.3ms,可配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率高速掃描。壓電定位臺具有的控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質,使用過程中不受磁場的影響,壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。
由于工藝的不斷成熟和成本的不斷下降,陶瓷電機納米定位臺的性價比已經明顯優(yōu)于傳統(tǒng)壓電納米臺,甚至低于高精度的微型電機定位臺,在很多應用中已經取代這兩種產品。并且,陶瓷電機技術還在向更大的推力、更高的速度、更快的調制頻率方向發(fā)展,在未來將會出現在越來越多的高技術應用領域。
壓電納米定位臺符合無摩擦導向原理,壓電位移臺無需維護,不存在磨損。更重要的是,其輸出運動靈敏度不會受機械摩擦的影響。閉環(huán)產品(型號以S結尾)內部集成有高分辨率應變計位置傳感器,其支持高精度且可重復的運動,而且還會對促動器蠕變進行補償,并且對溫度不敏感。閉環(huán)產品即可開環(huán)也可閉環(huán)控制。
芯明天壓電納米定位臺的驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。1-3維運動,行程范圍大可達1.1mm,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應變計傳感器實現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用。