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超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)！

更新時間： 2024-06-17

利用超聲諧振驅(qū)動原理的壓電馬達(dá)，其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng)，使其能產(chǎn)生超聲波頻率的機(jī)械振動，再通過摩擦驅(qū)動的結(jié)構(gòu)設(shè)計，從而驅(qū)動移動臺做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動或直線運(yùn)動。

超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動，因此超聲壓電馬達(dá)具有噪聲小的特點(diǎn)。此外，它還具有結(jié)構(gòu)小，響應(yīng)速度快，可斷電自鎖等優(yōu)點(diǎn)。在精密加工測量儀器、半導(dǎo)體加工設(shè)備、醫(yī)療、航空航天等高技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)！

不同壓電馬達(dá)的運(yùn)動原理

芯明天超聲諧振驅(qū)動壓電馬達(dá) 超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)！

01 N59系列直線壓電馬達(dá)

產(chǎn)品外觀

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)！

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 一維X向運(yùn)動

• 速度達(dá)25mm/s

• 分辨率達(dá)50nm

• 斷電自鎖

產(chǎn)品應(yīng)用

• 光學(xué)儀器領(lǐng)域

• 精密儀器領(lǐng)域

• 醫(yī)療器械

• 微劑量注射器

• 小負(fù)載、大行程納米定位

• 科學(xué)研究

• 光纖對接

• 微細(xì)加工

• 原子力顯微鏡

• 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等

技術(shù)參數(shù)

型號	N59.9K
運(yùn)動自由度	X
標(biāo)稱行程范圍	9 或 ±4.5mm
速度上限	25mm/s
分辨率	50nm
負(fù)載能力	0.2kg
工作溫度	0~50℃
質(zhì)量	4g
材質(zhì)	鋁，不銹鋼
電纜長度	0.1m

02 N69系列旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)

產(chǎn)品外觀

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)！

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 360°雙向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動

• 速度可達(dá)220rpm

• 斷電自鎖

• 真空版本可選

產(chǎn)品應(yīng)用

• 光學(xué)儀器領(lǐng)域

• 精密儀器領(lǐng)域

• 醫(yī)療器械

• 微劑量注射器

• 半導(dǎo)體技術(shù)

• 圖像處理

• 納米計量

• 光學(xué)儀器設(shè)備制造

• 干涉儀等

技術(shù)參數(shù)

型號	N69.K2
運(yùn)動自由度	360°雙向
最大速度	220rpm
分辨率	30μrad
扭矩	1mN·m
軸向負(fù)載力	0.2kg
工作溫度	0~50℃
質(zhì)量	3.5g
材質(zhì)	鋼、鋁
電纜長度	0.1m

配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達(dá)，單通道開環(huán)驅(qū)動，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號控制，操作更便捷，小體積設(shè)計更易集成。

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)！

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