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壓電直線納米運動與二維偏轉(zhuǎn)鏡架相結(jié)合，實現(xiàn)鏡片二維偏轉(zhuǎn)及快速光學(xué)移相！

更新時間： 2024-06-05

光學(xué)移相器是一種用于控制光相位的光學(xué)器件，用于實現(xiàn)光信號的相位移動，在干涉測量技術(shù)領(lǐng)域中廣泛的應(yīng)用。隨著技術(shù)的不斷進步，干涉測量技術(shù)對于大行程、高精度、高靈敏度的要求越來越高，移相器作為干涉測量技術(shù)的重要部件，也要隨之進步。

芯明天宏微復(fù)合式壓電移相器是將直線壓電促動器與二維手調(diào)鏡架相結(jié)合，實現(xiàn)鏡片θx、θy二維偏轉(zhuǎn)，且壓電促動器具有高精度、快速響應(yīng)等優(yōu)勢，可通過電壓控制進行超快速（μs級）步進調(diào)節(jié)，二者合一既可以滿足大角度調(diào)節(jié)范圍又可以進行快速光學(xué)移相，且體積小，更便于操作。

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器的內(nèi)部是由壓電陶瓷管驅(qū)動，它由直流電壓信號控制，在150V電壓下產(chǎn)生的位移約0.7μm，在上限驅(qū)動電壓800V下，產(chǎn)生的位移約3.73μm，手動調(diào)節(jié)鏡架偏轉(zhuǎn)角度范圍可達±4°?？蓭лdφ35mm鏡片，也可定制尺寸。

壓電直線納米運動與二維偏轉(zhuǎn)鏡架相結(jié)合，實現(xiàn)鏡片二維偏轉(zhuǎn)及快速光學(xué)移相！

T30Z1K壓電陶瓷移相器

T30Z1K壓電陶瓷移相器的內(nèi)部是由壓電陶瓷管驅(qū)動，在150V直流電壓驅(qū)動下可產(chǎn)生約0.65µm位移，可通過手動調(diào)節(jié)θx、θy兩軸的偏轉(zhuǎn)角度，角度調(diào)節(jié)范圍可達±3°。將鏡片調(diào)節(jié)與像移步進相結(jié)合，體積更小巧緊湊，使其更方便于像移、干涉測量等應(yīng)用。

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ZT50M14系列壓電移相促動器

ZT50M14系列壓電促動器是專為光學(xué)籠式結(jié)構(gòu)應(yīng)用而設(shè)計，可直接安裝于籠式結(jié)構(gòu)中。它是將壓電促動器集成到一個手調(diào)鏡架中，先通過二維鏡架對鏡片的朝向進行手動調(diào)節(jié)，可調(diào)節(jié)范圍±3°，再通過壓電促動器進行納米精度直線運動。該壓電促動器具有多種型號，可在多種位移間進行選擇，最高可達114μm，可選配閉環(huán)傳感器。

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芯明天可提供各種用于移相、步進、干涉、計量等應(yīng)用的壓電式移相器，例如小體積型、帶有通光孔型、大負載型、大口徑型，可根據(jù)客戶實際應(yīng)用定制設(shè)計。

配套控制器

E53.D系列單通道壓電控制器適用于驅(qū)動芯明天壓電移相器，供電為24VDC/1.5A，帶寬10kHz，可采用模擬或數(shù)字控制，開閉環(huán)可選。針對小體積應(yīng)用開發(fā)，結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

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