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P17系列大行程二維壓電掃描臺

更新時間: 2019-04-15

P17系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

 

產(chǎn)品特點

• 位移可達210μm

• 承載可達1kg

• 通孔尺寸60×60mm

• 閉環(huán)重復定位精度高

• 響應速度快

產(chǎn)品應用

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 掃描顯微

• 干涉/測量

• 表面檢測

• 晶圓定位/微操作

大行程、響應速度快

 

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺,可以實現(xiàn)XY軸210×210μm的位移行程,優(yōu)異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、快的響應時間可達5毫秒。

閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心60×60mm大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

頻率負載曲線

 

階躍時間

P17.X200S負載10g滿行程的響應時間約30ms。

 

開閉環(huán)曲線

 

技術參數(shù)

 

應用實例

P17系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。

與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。

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