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P77.D6小體積壓電移相器

更新時間: 2019-04-15

P77.D6壓電式移相器是專為光學檢測移相應用而設計的,中心通孔直徑為65mm,正立、側臥、倒置使用的承載能力分別可達5kg、2kg、3kg。采用壓電陶瓷直驅式結構,保證了出力性能,同時內部優(yōu)化的機械結構設計,對壓電陶瓷也起到了的保護作用,確保了使用壽命。

 

產品特點

• 一維Z向運動

• 行程可達17μm

• 承載可達5kg

• 通孔直徑:65mm

• 可正立/倒置/側臥使用

 

典型應用

• 顯微成像

• 表面檢測

• 干涉/測量

• 精密定位

• 移相器

• 光學捕獲

 

高精度、大承載

P77.D6系列壓電移相器采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導向機構設計,利用有限元分析優(yōu)化,使其具有超高分辨率。同時閉環(huán)版本內置高精度傳感器,對位移實時監(jiān)測反饋,實現(xiàn)納米級的重復定位精度及線性度。

中心通孔直徑65mm,非常適于大口徑移相干涉應用。

電壓與位移曲線

 

技術參數(shù)

 

應用案例

芯明天P77系列壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點廣泛應用于現(xiàn)代干涉儀中,大大提高了干涉儀的測量精度。

 

 

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