P12A.XY200Z100 系列放大機構(gòu)式壓電掃描臺
P12A.XY200Z100 系列放大機構(gòu)式壓電掃描臺 產(chǎn)品特點: 全閉環(huán),高精度; XYZ 三維運動; 行程可達 X200/Y200/Z100μm; 中心方形通孔 45×45mm; 真空版本可選;
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