N31系列三維壓電馬達(dá) 三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在XYZ三個(gè)方向運(yùn)動(dòng),配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng),每軸運(yùn)動(dòng)行程可選25、50、100mm,可達(dá)納米級(jí)分辨率。 產(chǎn)品特點(diǎn) 行程25、50、100mm/軸可選 納米級(jí)分辨率 增量式編碼器 承載達(dá)2.5kg 產(chǎn)品應(yīng)用 超分辨成像樣品移動(dòng) 微納裝備及制造 掃描電鏡(SEM)樣品操縱 納米聚焦與掃描 主動(dòng)光學(xué) 集成電路制造與檢測(cè) 顯微及納米CT 大范圍電子束直寫(EBL) 高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿
N31系列三維壓電馬達(dá)
|