內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動,直線運動行程可選 25、50、100mm,可達(dá)亞納米級分辨率??蛇x配閉環(huán)伺服傳感器(增量式編碼器),具有更高的定位精度??蛇x移動臺面。
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