N50系列二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái) 價(jià)格壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)進(jìn)行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),產(chǎn)品<span text-indent:24px;white-space:normal;background-color:#ffffff;"="" style="font-family: "microsoft yahei"; margin: 0px; padding: 0px;">較高的偏轉(zhuǎn)精度和高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇。 N50系列為θx, θz軸偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái),*的承載能力,承載可達(dá)60kg,偏轉(zhuǎn)角度±0.25mrad??蓭лd20kg負(fù)載高頻率使用。產(chǎn)品主要應(yīng)用于大負(fù)載偏擺/旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn),比如模擬空間擾動(dòng)實(shí)驗(yàn)等。 N50系列二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái) 價(jià)格 特性 • θx, θz偏擺/旋轉(zhuǎn),角度位移達(dá)±0.25mrad/軸 • 承載可達(dá)60kg • 閉環(huán)定位精度高 • 外形堅(jiān)固 • 響應(yīng)速度快 大承載、高精度、高頻率 | 頻率負(fù)載曲線 | 驅(qū)動(dòng)測試實(shí)驗(yàn) | N50 θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是為空間擾動(dòng)實(shí)驗(yàn)而設(shè)計(jì)的大承載偏擺系統(tǒng),具有電容閉環(huán)幅值校正功能,可以帶60kg負(fù)載做精密偏轉(zhuǎn),行程可達(dá)±0.25mrad。 N50壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)采用有限元分析對結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,具有高的剛度,即使其在負(fù)載的情況下仍然可以實(shí) 現(xiàn)高動(dòng)態(tài),頻率可以達(dá)到500Hz。 可選擇多種傳感器類型,如電容、電感、應(yīng)變計(jì)等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于模擬空間擾動(dòng)等實(shí)驗(yàn)中。 | | N50大負(fù)載θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)需要三通道控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制,根據(jù)所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz使用頻率,我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅(qū)動(dòng)模塊。 |
應(yīng)用 • 光束掃描 • 圖像處理/穩(wěn)定 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 |