特性 一維X軸 超小體積 位移行程34μm 毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間 納米級(jí)定位精度 一維X軸平移臺(tái) N60為一維X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái),臺(tái)面兩個(gè)安裝螺紋孔,便于安裝負(fù)載。 高分辨率、高諧振頻率、體積小巧 N60采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,一維X軸運(yùn)動(dòng)行程34μm,體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸為28╳28╳12.5mm。N60壓電納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),無(wú)摩擦無(wú)后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的動(dòng)態(tài)性能,空載諧振頻率達(dá)1800Hz。 產(chǎn)品穩(wěn)定性好、無(wú)漂移、使用壽命長(zhǎng),體積小巧,方便與其他系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行集成安裝等優(yōu)異的性能使其適合于光學(xué)顯微掃描、精密加工、微操作等應(yīng)用。 高分辨率 N60配套E53壓電控制器,可實(shí)現(xiàn)0.5nm的步進(jìn)分辨率。 |