IT.X/Z電容式壓電納米定位臺采用電容傳感器作為閉環(huán)反饋，分辨率可達(dá)皮米級。行程zui大可達(dá)1mm，滿行程定位精度可達(dá) 2.5nm，多種規(guī)格型號可選，滿足不同應(yīng)用的需求。 IT.X/Z電容式壓電納米定位臺應(yīng)用： • 精密定位 • 生物顯微 • 光學(xué)顯微成像 • 細(xì)胞穿透 IT.X/Z電容式壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù) 型號 | IT.X25 | IT.X50 | IT.X100 | IT.X500ST | IT.X500AL | IT.Z100B | IT.Z1000 | 單位 | 運(yùn)動自由度 | X | X | X | X | X | Z | Z | | 運(yùn)動范圍（0~150V） | 25 | 50 | 100 | 490 | 470 | 125 | 1000 | μm±20% | 傳感形式 | 高分辨率電容傳感器 | 分辨率 | 12 | 19 | 19 | 1200 | 1200 | 20 | 400 | pm | 線性度 | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.001 | %F.S. | 響應(yīng)頻率 | 1500 | 360 | 360 | 400 | 500 | 900 | 500 | Hz | zui大負(fù)載 | 5 | 5 | 5 | 2 | 2 | 10 | 1 | kg | 臺體重量 | 196 | 261 | 261 | 2000 | 2000 | 660 | 1000 | g |
IT.X/Z電容式壓電納米定位臺特性： • 納米級精度 • zui大行程1mm • 電容傳感 • 電容式閉環(huán)控制 • 皮米級分辨率 哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運(yùn)動器（壓電陶瓷）和微運(yùn)動控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的高科技企業(yè)，我們的微運(yùn)動器和微運(yùn)動控制器產(chǎn)品是推動微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學(xué)等微觀領(lǐng)域發(fā)展的核心技術(shù)，是了解和操縱微觀世界的機(jī)器心臟。 哈爾濱芯明天科技有限公司經(jīng)過多年的項目研究與技術(shù)積累，擁有了自己的核心技術(shù)，開發(fā)出了系列化的微運(yùn)動器與微運(yùn)動控制器產(chǎn)品，廣泛地應(yīng)用于國內(nèi)各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學(xué)儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機(jī)床的公司；公司與哈爾濱工業(yè)大學(xué)的多個研究所有著多年的密切合作關(guān)系，按照科研與產(chǎn)業(yè)化相結(jié)合的道路持續(xù)發(fā)展；公司擁有雄厚的技術(shù)儲備和研發(fā)制造能力，并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊伍。 |
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