IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺采用一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，多軸運動無耦合。多種位移行程可供選擇?？蓱?yīng)用于高精密光 學(xué)測量、生物科技、原子力顯微鏡等應(yīng)用領(lǐng)域。 IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù) 型號 | IT.XY25 | IT.XY50 | IT.XY100 | IT.XYZ50 | IT.XYZ100 | 單位 | 運動自由度 | XY | XY | XY | XYZ | XYZ | | 運動范圍（0~150V） | 25/軸 | 50/軸 | 100/軸 | 50/軸 | 100/軸 | μm±20% | 分辨率 | 12 | 19 | 19 | 10 | 20 | pm | 傳感形式 | 高分辨率電容傳感器 | | 驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷致動器及精密柔性鉸鏈結(jié)構(gòu) | | 線性度 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | %F.S. | 響應(yīng)頻率 | X1500 Y2000 | X360 Y450 | X360 Y450 | X400 Y540 Z600 | X320 Y450 Z500 | Hz | zui大負(fù)載 | 5 | 5 | 5 | 1 | 1 | kg | 臺體重量 | 200 | 323 | 323 | 250 | 250 | g |
| g |
IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺特性： 皮米級分辨率 • 電容式閉環(huán)控制 • 閉環(huán)定位精度高 IT.XY /IT.XYZ電容式壓電納米定位臺應(yīng)用： • 精密定位 • 生物顯微 • 光學(xué)顯微成像 • 細(xì)胞穿透 哈爾濱芯明天科技有限公司是專業(yè)從事微運動器（壓電陶瓷）和微運動控制器（壓電陶瓷控制器）產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的高科技企業(yè)，我們的微運動器和微運動控制器產(chǎn)品是推動微制造、微工業(yè)、微軍事、微生物、微醫(yī)療、微光學(xué)等微觀領(lǐng)域發(fā)展的核心技術(shù)，是了解和操縱微觀世界的機(jī)器心臟。 哈爾濱芯明天科技有限公司經(jīng)過多年的項目研究與技術(shù)積累，擁有了自己的核心技術(shù)，開發(fā)出了系列化的微運動器與微運動控制器產(chǎn)品，廣泛地應(yīng)用于國內(nèi)各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學(xué)儀器、燃油噴射系統(tǒng)、微小器件加工機(jī)床的公司；公司與哈爾濱工業(yè)大學(xué)的多個研究所有著多年的密切合作關(guān)系，按照科研與產(chǎn)業(yè)化相結(jié)合的道路持續(xù)發(fā)展；公司擁有雄厚的技術(shù)儲備和研發(fā)制造能力，并且擁有一群充滿熱情和富有創(chuàng)新能力的青年隊伍。 |
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