XP-780系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X軸zui大220μm的 位移，可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式 實現(xiàn)二維、三維運動。 XP-780系列壓電掃描臺典型應(yīng)用
• SPM掃描顯微鏡 • 干涉
• 掩模/晶圓定位 • 計量
• 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
XP-780系列壓電掃描臺特性 • zui大位移220μm • zui大承載5kg • 通孔尺寸：25×25mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開/閉環(huán)可選 大行程、高精度、大負(fù)載
XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理， 可以實現(xiàn)zui大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向 機(jī)構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)納 米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。
優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常高的剛度，承載能力大， 可帶載5kg的樣品作精密定位 1~3維掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格 型號，可以自由疊加組合。 XP-780系列壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | XP-780.XS XP-780.XK | 單位 | 運動自由度 | X | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 160 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 220 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | 25×25 | mm | 閉/開環(huán)分辨率 | 10/5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <50 | µrad | 推/拉力 | 80/40 | N | 運動方向剛度 | 0.5 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 200 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 20/5 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | zui大承載 | 5 | kg | 靜電容量 | 11 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 240 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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