壓電馬達內(nèi)部仍為壓電陶瓷驅(qū)動,它分為直線運動型及角度運動型,利用粘滑原理,通過壓電陶瓷的快速振動,達到微納米級的步進,總直線運動行程范圍可達幾百毫米,角度行程可達360度。 應(yīng)變傳感器主要用于測量一個結(jié)構(gòu)表面的形變,具有非常高的測量敏感度,可間接進行力的測量,力的過程監(jiān)控等。 特性: · 偏轉(zhuǎn)角度:6°(±3°)θ X θ Y · 分辨率:2.9’’ · 鏡片直徑:12.7m · 中空直徑:9mm · 外形尺寸:30.5×24m 應(yīng)用: · 微米納米技術(shù) · 生物科技 · 顯微 · 電信 · 計量、激光系統(tǒng) |