P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺，壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm，放大機(jī)構(gòu)內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)Z軸210μm或300μm的位移行程，優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的定位精度，適用于需要大行程精密定位的應(yīng)用領(lǐng)域。 
P78.Z300為一維Z軸壓電掃描臺，中心具有通孔，zui大掃描范圍可達(dá)300μm，閉環(huán)掃描臺精度更高，直線運(yùn)動(dòng)無偏航。 特性 • 一維Z向運(yùn)動(dòng)，行程300μm • zui大承載0.5kg • 通孔直徑：64×64mm • 亞納米級分辨率 • 開環(huán)、閉環(huán)可選 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 應(yīng)用： 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動(dòng)聚焦檢測系統(tǒng)•顯微光學(xué)成像 
哈爾濱芯明天科技有限公司致力于壓電納米定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，主要服務(wù)于制造精密設(shè)備的的客戶。經(jīng)過二十多年的快速發(fā)展，公司已獲得*認(rèn)定，獲得產(chǎn)品30多項(xiàng)并取得軟件著作權(quán)、全部產(chǎn)品擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、公司產(chǎn)品已覆蓋全國各地高校、科研院所以及精密設(shè)備制造企業(yè)，并遠(yuǎn)銷歐、美、日、韓等地。公司與中國高科技企業(yè)、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建立了合作伙伴關(guān)系，已經(jīng)成為中國專業(yè)的精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)商。 
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