N62系列二維壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺,機構(gòu)放大設(shè)計原理,中心通孔孔徑為26mm,可以實現(xiàn)XY軸±11μm的位移行程,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。非常適易于嵌入其他設(shè)備中,用于精密定位與微掃臺。 特性 • 二維XY向運動,zui大行程±11μm/軸 • zui大承載1kg • 臺體中心方形通孔,尺寸為Ø26mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)、閉環(huán)可選 特性 • 一維X軸運動 • 位移行程34μm • 超小體積 • zui大承載0.5kg • 納米級定位精度 應(yīng)用: 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統(tǒng)•顯微光學(xué)成像
哈爾濱芯明天科技有限公司致力于壓電納米定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,主要服務(wù)于制造精密設(shè)備的的客戶。經(jīng)過二十多年的快速發(fā)展,公司已獲得*認(rèn)定,獲得產(chǎn)品30多項并取得軟件著作權(quán)、全部產(chǎn)品擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、公司產(chǎn)品已覆蓋全國各地高校、科研院所以及精密設(shè)備制造企業(yè),并遠(yuǎn)銷歐、美、日、韓等地。公司與中國高科技企業(yè)、國家重點實驗室建立了合作伙伴關(guān)系,已經(jīng)成為中國專業(yè)的精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)商。
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