P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器為多軸俯仰升降臺,產(chǎn)品體積為Ø20×19.5mm,可以實(shí)現(xiàn)θx, θy軸0.8mrad的偏轉(zhuǎn),Z軸12μm的升降,開環(huán)版本具有超高的分辨率及超快的響應(yīng)速度,三角架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有超寬的使用溫度范圍。 臺體中心帶有通孔孔徑為Ø10mm,適用于需要透光的應(yīng)用,如光過濾等。 P36系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器有兩個(gè)版本可選,開環(huán)Z向平臺或開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)臺,Z向升降平臺提供頂部環(huán)在垂直方向的定位(活塞運(yùn)動),Z向升降/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位臺可實(shí)現(xiàn)垂直(活塞運(yùn)動)定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。 |
| P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器內(nèi)部三支壓電陶瓷促動器并聯(lián)連接,提供頂部環(huán)在垂直方向的定位(活塞運(yùn)動)時(shí),只需一個(gè)驅(qū)動通道。 提供Z向升降/俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動時(shí),需三個(gè)驅(qū)動通道。 |