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1.二維XZ向壓電納米定位臺特性
• 1~3維自由組合 • 位移行程8μm • 亞毫秒響應(yīng)時間 • zui大承載0.5kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級
外觀形狀
產(chǎn)品運(yùn)動示意圖
直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動示意圖
小體積、高精度、響應(yīng)速度快
傳感器類型
頻率負(fù)載曲線
P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點(diǎn)是超級精密且體積非常小巧，P63.XZ二維的尺寸僅為30×30×33mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。
P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。
2.二維XZ向壓電納米定位臺應(yīng)用
• 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計(jì)量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制
應(yīng)用實(shí)例：納米切削
P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削力測試實(shí)驗(yàn)中。
二維XZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)
型號
尾綴S-閉環(huán)
P63.XZ7S
P63.XZ7K
單位
尾綴K-開環(huán)
運(yùn)動自由度
X、Z
同S
標(biāo)稱行程范圍（0 ~+120 V）
5.5/軸
µm±20%
zui大行程范圍（-20~+150 V）
8/軸
SGS
-
分辨率
0.2
0.1
nm
線性度
%F.S.
重復(fù)定位精度
俯仰/偏航/滾動
<10
µrad.
推/拉力
9/2
N
運(yùn)動方向剛度
X1.2/Z1.5
N/µm±20%
空載諧振頻率
X1.5/Z1.6
KHz±20%
空載階躍時間
1.5
0.3
ms±20%
空載工作頻率*
10%行程
500
>200
Hz±20%
行程
100
>50
zui大承載能力
g
靜電容量
0.8/軸
μF±20%
工作溫度范圍**
-20~80
°C
材質(zhì)
鋁
外形尺寸（長×寬×高）
30×30×33
mm
重量
120
g±5%
出線長
m±10mm
傳感/電壓連接器***
LEMO
17051647888
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