壓電陶瓷堆棧由多個(gè)壓電陶瓷芯片面對(duì)面堆疊組成，使用環(huán)氧樹(shù)脂和玻璃珠粘合起來(lái)。組合多個(gè)芯片后，這些壓電陶瓷堆棧能獲得明顯大于單個(gè)壓電陶瓷芯片的自由行程，同時(shí)能保持亞毫秒級(jí)的響應(yīng)時(shí)間和較低的驅(qū)動(dòng)電壓范圍。 方形壓電陶瓷堆棧技術(shù)參數(shù)型號(hào) | 長(zhǎng)L [mm] | 寬W [mm] | 高H [mm] | 驅(qū)動(dòng)電壓 [V] | 位移 [μm]±20% | 靜電容量 [nF]±15% | 剛度 [N/µm]±20% | 出力 [N]±20% | 諧振頻率 [kHz]±20% | NAC2001-HXX | 2 | 2 | 4 - 20 | 60 | 2.55 - 22.9 | 130 - 1150 | 66 - 7 | 168 | >248 - 52 | NAC2002-HXX | 3 | 3 | 4 - 30 | 60 | 2.85 - 39.9 | 360 - 5040 | 133 - 9 | 378 | >248 - 35 | NAC2003-HXX | 5 | 5 | 4 - 50 | 60 | 3 - 72 | 1020 - 24625 | 350 - 15 | 1050 | >248 - 22 | NAC2011-HXX | 2 | 2 | 4 - 20 | 150 | 2.81 - 25.25 | 21 - 190 | 60 - 7 | 168 | >248 - 52 | NAC2012-HXX | 3 | 3 | 4 - 30 | 150 | 3.14 - 43.89 | 59 - 820 | 121 - 9 | 378 | >248 - 35 | NAC2013-HXX | 5 | 5 | 4 - 50 | 150 | 3.3 - 79.2 | 180 - 4330 | 318 - 13 | 1050 | >248 - 22 | NAC2014-HXX | 7 | 7 | 4 - 70 | 150 | 3.3 - 112.2 | 340 - 11650 | 624 - 18 | 2060 | >248 - 16 | NAC2015-HXX | 10 | 10 | 4 - 100 | 150 | 3.3 - 161.7 | 680 - 33500 | 1273 - 26 | 4200 | >248 - 11 | NAC2021-HXX | 7 | 7 | 4 - 70 | 200 | 3.3 - 112.2 | 200 - 6750 | 624 - 18 | 2060 | >248 - 16 | NAC2022-HXX | 10 | 10 | 4 - 100 | 200 | 3.3 - 161.7 | 400 - 19400 | 1273 - 26 | 4200 | >248 - 11 | NAC2023-HXX | 15 | 15 | 4 - 150 | 200 | 3.3 - 244.2 | 870 - 64600 | 2864 - 39 | 9450 | >248 - 7 |
注：方形壓電堆棧的高度可自行選擇。 特點(diǎn)： 將鋯鈦酸鉛(PZT)粉末做成的柔性片材堆結(jié)成塊
通過(guò)絲網(wǎng)印刷將電極印刷到每一片上
將經(jīng)過(guò)印刷的片材層層堆疊
利用等靜壓將堆疊的片材壓制成塊
將整塊PZT切成單獨(dú)的小塊
通過(guò)對(duì)進(jìn)行這些小塊熱處理來(lái)消除殘留的溶劑和粘合材料
燒結(jié)小塊，熔合這些壓電材料，形成并生長(zhǎng)PZT晶體
進(jìn)行研磨，使每片芯片的尺寸公差嚴(yán)格控制在±5 µm
絲網(wǎng)印刷芯片外電極
通過(guò)高壓極化使每個(gè)PZT晶體沿同軸方向?qū)?zhǔn) 環(huán)形壓電陶瓷堆棧 技術(shù)參數(shù) 型號(hào) | 外徑 OD [mm] | 內(nèi)徑 ID [mm] | 高H [mm] | 驅(qū)動(dòng)電壓 [V] | 位移 [μm]±20% | 靜電容量 [nF]±15% | 剛度 [N/μm]±20% | 出力 [N]±20% | 諧振頻率 [kHz]±20% | NAC2121-HXX | 6 | 2 | 4 - 60 | 200 | 3.3 - 95.7 | 95 - 2750 | 321 - 11 | 1060 | >248 - 18 | NAC2122-HXX | 8 | 3 | 4 - 80 | 200 | 3.3 - 128.7 | 180 - 7020 | 548 - 14 | 1810 | >248 - 14 | NAC2123-HXX | 12 | 6 | 4 - 120 | 200 | 3.3 - 194.7 | 340 - 20200 | 1079 - 18 | 3560 | >248 - 9 | NAC2124-HXX | 15 | 9 | 4 - 150 | 200 | 3.3 - 244.2 | 460 - 33950 | 1439 - 19 | 4750 | >248 - 7 | NAC2125-HXX | 20 | 12 | 4 - 200 | 200 | 3.3 - 326.7 | 800 - 79300 | 2561 - 26 | 8450 | >248 - 6 |
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