型號(hào)
P63.XYZS
單位
公差
驅(qū)動(dòng)軸
X,Y,Z
X、Y、Z軸開(kāi)環(huán)行程
7
um
±20%
X、Y、Z軸閉環(huán)行程
傳感器
SGS
閉環(huán)/開(kāi)環(huán)分辨率
0.6/0.2
nm
典型值
線性度
0.1
%F.S.
重復(fù)定位精度
0.05
典型值，滿量程
zui大負(fù)載
500
g
zui大
靜電容量
0.8/軸
uF
X,Y軸空載響應(yīng)頻率
1600
Hz
Z軸空載響應(yīng)頻率
3000
外形尺寸（長(zhǎng)*寬*高）
30*30*42
mm
重量
200
±5%
17051647888
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