P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標準的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm,再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié),壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可<1nm,這個壓電驅(qū)動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。 P84系列壓電驅(qū)動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結構相結合,通過手動調(diào)節(jié)測微頭實現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭的精調(diào)節(jié),壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達2.5nm,測微頭的分辨率是10μm,整體結構可以對元件進行大行程、高精度定位。 |