N31系列三維壓電馬達(dá)-哈爾濱芯明天科技有限公司

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產(chǎn)品名稱：N31系列三維壓電馬達(dá)

產(chǎn)品型號：

產(chǎn)品報價：

產(chǎn)品特點(diǎn)：N31系列三維壓電馬達(dá)，可在XYZ三個方向運(yùn)動，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，每軸運(yùn)動行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級分辨率。

更新日期：2023-09-07

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N31系列三維壓電馬達(dá)的詳細(xì)資料：

N31系列三維壓電馬達(dá)

三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在XYZ三個方向運(yùn)動，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，每軸運(yùn)動行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級分辨率。

產(chǎn)品特點(diǎn)

行程25、50、100mm/軸可選

納米級分辨率

增量式編碼器

承載達(dá)2.5kg

產(chǎn)品應(yīng)用

超分辨成像樣品移動

微納裝備及制造

掃描電鏡（SEM）樣品操縱

納米聚焦與掃描

主動光學(xué)

集成電路制造與檢測

顯微及納米CT

大范圍電子束直寫（EBL）

高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿

N31系列三維壓電馬達(dá)

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