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P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái)，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特性

• θx, θy 偏擺運(yùn)動(dòng)，Z向升降

• 閉環(huán)定位精度高

• 響應(yīng)速度快

• 透光孔：80×80mm

典型應(yīng)用

• 掃描顯微

• 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲

• 干涉/計(jì)量

• 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

• 生物技術(shù)

• 掩模與晶片位置調(diào)整

超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用

P51系列偏擺/傾斜、升降臺(tái)是專門為對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng)用設(shè)計(jì)的，臺(tái)體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

仿真分析

通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動(dòng)，因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無間隙、無摩擦。

超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái)，偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達(dá)110μm。

P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。

可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。

頻率負(fù)載曲線

技術(shù)參數(shù)

注： 可定制超低溫版本及超高真空版本。 連接器可定制。

應(yīng)用案例

激光合束

激光合束對(duì)準(zhǔn)的裝置涉及激光合束對(duì)準(zhǔn)技術(shù)領(lǐng)域、光電干擾技術(shù)領(lǐng)域及激光致盲干擾技術(shù)領(lǐng)域，系統(tǒng)目的是實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)的精密跟蹤與瞄準(zhǔn)。激光發(fā)射系統(tǒng)是對(duì)激光束進(jìn)行擴(kuò)束、準(zhǔn)直、聚焦的光學(xué)系統(tǒng)。為消除大氣抖動(dòng)、湍流等因素對(duì)激光傳輸?shù)挠绊?，常采用自適應(yīng)光學(xué)技術(shù)，通過實(shí)時(shí)修正可調(diào)二維擺鏡，提高激光合束對(duì)準(zhǔn)精度保證激光束聚焦良好。

顯微成像

微位移驅(qū)動(dòng)技術(shù)是精密測(cè)量與精密制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。隨著微納制造技術(shù)的快速發(fā)展，需求納米級(jí)驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)的領(lǐng)域越來越多。六自由度納米工作臺(tái)已成為微小器件表面形貌測(cè)量的全場(chǎng)并行共焦顯微鏡關(guān)鍵部件，它的驅(qū)動(dòng)技術(shù)及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)微動(dòng)平臺(tái)的快速調(diào)整、高精度定位和微型化。

光束掃描

偏擺臺(tái)/鏡是現(xiàn)代光機(jī)系統(tǒng)的重要組成部分之一，主要應(yīng)用在高精光機(jī)系統(tǒng)的掃描跟蹤、光路調(diào)制和抖振抑制等。壓電偏擺臺(tái)可實(shí)現(xiàn)快速光束掃描，在保證精度的同時(shí)，并能保證快速跟蹤。非常適合應(yīng)用在新一代的空間光機(jī)系統(tǒng)，如激光通信平臺(tái)、空間望遠(yuǎn)鏡和偵查相機(jī)等。

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