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壓電偏轉鏡是以壓電元件作為驅動源與外部機構相結合帶動鏡片實現(xiàn)精密偏轉/傾斜運動的壓電機械系統(tǒng)。芯明天壓電偏轉鏡包括壓電陶瓷驅動精密偏轉鏡以及壓電馬達驅動大行程壓電偏轉鏡。

壓電陶瓷驅動壓電偏轉鏡

壓電陶瓷驅動壓電偏轉鏡內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

主要特性：

壓電陶瓷驅動壓電偏轉鏡根據(jù)運動方式包括一維θx二維θx,θy三維θx,θy,Z，運動工作方式如下圖所示：

該系列高精密壓電偏轉鏡具有多種尺寸、偏轉范圍、規(guī)格型號可選，P31系列壓電偏轉鏡能夠實現(xiàn)的zui大偏轉范圍達25mrad，P33.T2S壓電偏轉鏡配套芯明天閉環(huán)壓電控制器可以實現(xiàn)0.5μrad的定位精度。

驅動控制方式：

芯明天壓電偏轉鏡可以根據(jù)用戶對負載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據(jù)用戶特定的需求開發(fā)定制。

典型應用：

精密壓電偏轉鏡主要應用于光通信、光路調整、光干涉、自適應光學等領域，芯明天P33系列壓電偏轉系統(tǒng)已經(jīng)成功應用于衛(wèi)星激光通信實驗中，高精度的偏轉、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國內外科研院所及企業(yè)的青睞。

壓電馬達驅動壓電偏轉鏡

壓電馬達驅動壓電偏轉鏡，采用壓電馬達驅動，內部精密軸承轉動導向與外部柔性鉸鏈導向機構相結合實現(xiàn)大行程高精度精密偏轉。

主要特性： 

壓電馬達驅動壓電偏轉鏡為一維θx軸壓電偏轉鏡，中心通孔透光孔徑為9mm、偏轉范圍可達6°（+/-3°）、實現(xiàn)光學12°的偏轉，可以選擇不同的控制器實現(xiàn)1/64步，即zui小步進0.3μrad， 速率可達25mrad/s。

驅動控制方式：

壓電馬達驅動偏轉鏡可以選擇三種不同分辨率的控制器實現(xiàn)不同的zui小步進，主要是通過軟件進行上位機控制，zui小步進與步進速度可以設置。

典型應用：

壓電馬達驅動壓電偏轉鏡已經(jīng)應用于光學導軌帶動分束立方體做精密偏轉運動。