芯明天壓電納米定位技術(shù)助力中國芯片產(chǎn)業(yè),加速“中國芯”!
更新時間: 2018-05-14
哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電納米定位技術(shù)近二十載,已發(fā)布眾多的壓電式直線及角度超精密定位產(chǎn)品,并不斷進行技術(shù)改進,目前直線定位產(chǎn)品定位精度可達亞納米級,角度定位產(chǎn)品的定位精度可達納弧度級,重復度可達0.02%F.S.。
?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國的一個生產(chǎn)制造企業(yè),正在并將持續(xù)不斷改進我們的技術(shù),提高產(chǎn)品的精度及質(zhì)量,助力于中國芯片產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展!
芯明天壓電定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器
壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設(shè)計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片進行聚焦,顯著提高定位精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
利用芯明天壓電物鏡定位器進行激光加工
?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級定位精度,它的主要應用之一就是激光加工,例如晶圓切割。物鏡將激光束進行聚焦,通過壓電物鏡定位器調(diào)整激光束加工點的位置,調(diào)整精度為納米級,且速度可達亞毫秒。
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激光加工之晶圓切割
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激光經(jīng)過透鏡聚焦,再利用芯明天壓電物鏡定位器調(diào)整焦點的位置,使焦點準確的定位在晶圓待切割部位,使被切割部位溫度急速升高,然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動,在切割材料上形成連續(xù)切割點從而達到切割的目的。
?芯明天壓電物鏡定位器部分參數(shù):
型號 | 聚焦范圍 [μm] | 分辨率 [nm] | zui大承載 [g] | 類型 |
P72.Z100 | 110 | 2.5 | 200 | 小體積 |
P73.Z500 | 550 | 7 | 400 | 大行程 |
P76.Z100 | 110 | 2.5 | 500 | 大負載 |
安裝結(jié)構(gòu)
為了更方便的更換物鏡,安裝座分別通過獨立的轉(zhuǎn)接件與顯微鏡和物鏡進行連接。壓電物鏡定位器通過螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉(zhuǎn)接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,同時芯明天也接受定制螺紋適配器。
芯明天壓電物鏡定位器可裝配多種品牌、尺寸物鏡
多種螺紋牙尺寸可選,可配置不同品牌的物鏡,也可選擇螺紋牙轉(zhuǎn)接器進行轉(zhuǎn)接。螺紋尺寸可定制。
芯明天壓電物鏡定位器其他應用舉例
白光干涉
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白光干涉技術(shù)以可見光為光源,光源發(fā)出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學平面反射一半光強,另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡,與原光學平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器,準確性高可達納米解析度,垂直掃描高度可達550μm。
原子力顯微鏡
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原子力探針的針部置于干涉顯微鏡的光軸上,產(chǎn)生干涉條紋由CCD接收,當樣件移動時,表面高度變化,引起原子力探針的變化,其變化量由白光干涉條紋計量。當原子力探針的變化量超過預定閾值,探針拉回原位,實現(xiàn)原子力探針的跟蹤測量。
?差動式聚焦檢測系統(tǒng)
差動式聚焦檢測系統(tǒng)中,一束很強的匯聚激光投影到工件之上,聚焦鏡通過壓電物鏡定位器可垂直移動,其移動量由焦點誤差信號控制,焦點誤差信號探測它對真實表面的距離變動。當激光經(jīng)工件轉(zhuǎn)換并傳遞時,聚焦鏡通過反饋系統(tǒng)維持與工件的距離,該反饋系統(tǒng)是從像檢測器到由壓電物鏡定位器控制的聚焦鏡的一個轉(zhuǎn)換回路,聚焦鏡的運動量表示所測表面的粗糙度數(shù)值。
顯微光學成像
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顯微光學成像,通常也稱“光學顯微成像”,或“光學顯微術(shù)”(Optical Microscopy,或Light Microscopy),是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光,通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向超精密運動,可使觀測精度達納米級。
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