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N18.Z5K壓電馬達內(nèi)部采用粘滑原理驅動，將壓電陶瓷的微變形量，通過特殊結構設計，輸出宏動直線毫米行程，實現(xiàn)高精度定位。N18.Z5K為Z向升降式壓電馬達平臺，行程可達5mm，分辨率可達6nm，速度可達3mm/s，可在真空、低溫、無磁的應用環(huán)境中使用。它的運動形式為整體運動面做Z向升降，可使帶載樣品四周不受遮擋，其尺寸僅為24×24×20mm^3，專為空間受限的應用而設計。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

Z向運動

行程可達5mm

分辨率可達6nm

負載能力可達0.15kg

速度可達3mm/s

真空、低溫、無磁環(huán)境適用
產(chǎn)品應用

超分辨成像樣品移動

光纖對接

納米聚焦與掃描

原子力顯微鏡

半導體精密定位

微納裝備及制造

技術參數(shù)

E53.C1K-J壓電控制器適用于驅動N18.Z5K壓電馬達，它是單通道開環(huán)壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232，操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結構緊湊，易于集成。

配套控制器

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