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新品推薦|XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環(huán)控制器

更新時間： 2024-02-23

新年伊始，萬象更新。芯明天持續(xù)深挖行業(yè)需求，攻克技術(shù)壁壘，推陳出新，為客戶解決一個又一個精密定位技術(shù)的難題。

本次為大家介紹一款一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺-XD605.X90。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

X向運(yùn)動、大負(fù)載

XD605.X90可實現(xiàn)一維X向直線運(yùn)動，行程可達(dá)到95μm，負(fù)載可達(dá)10kg，分辨率可達(dá)3nm，為大負(fù)載應(yīng)用提供更優(yōu)質(zhì)的解決方案。

電容式傳感器

XD605.X90閉環(huán)版本采用電容傳感，閉環(huán)線性度可達(dá)0.021%F.S.，閉環(huán)重復(fù)定位精度可達(dá)0.005%F.S.，由于電容式傳感器是根據(jù)兩個電極之間的電容變化來測量物理量，所以它不受溫度、磁場環(huán)境等因素影響，在精度、響應(yīng)速度、穩(wěn)定性、可靠性和成本方面具有很多優(yōu)勢。

三種位姿、易使用

XD605.X90它在使用放置方式上進(jìn)行突破，可正立、側(cè)臥、倒置三種位置使用，可滿足更多設(shè)備或系統(tǒng)對負(fù)載位姿的要求。

產(chǎn)品應(yīng)用

顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

技術(shù)參數(shù)

型號	XD605.X90C/K
運(yùn)動自由度	X
驅(qū)動控制	1路驅(qū)動，1路電容傳感
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）	76μm
行程范圍（0~150V）	95μm
傳感器	CAP/-
分辨率	3nm
閉環(huán)線性度	0.02%F.S./-
閉環(huán)重復(fù)定位精度	0.005%F.S./-
俯仰	<5μrad
偏航	<5μrad
滾動	<5μrad
空載諧振頻率	615Hz
帶載諧振頻率@5kg	310Hz
閉環(huán)階躍時間@5kg	8ms@20μm
承載能力	正立10kg
	臥式5kg
	倒置10kg
靜電容量	37μF
材質(zhì)	鋁合金
重量（含線）	5.7kg

配套控制器

E53.D1C-H系列壓電控制器是一款模擬與數(shù)字式控制器，具有閉環(huán)伺服控制功能，是專為驅(qū)動配備電容式傳感器的壓電產(chǎn)品而研發(fā)設(shè)計。外形尺寸為148×125×27.5mm，供電為24VDC/1.5A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域，可快速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，且體積小巧，易于集成。

XD605.X90C電容式壓電平臺與E53.D1C-H電容閉環(huán)壓電控制器

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