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新品推薦|XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺(tái)及配套電容閉環(huán)控制器

更新時(shí)間： 2024-02-23
新年伊始，萬象更新。芯明天持續(xù)深挖行業(yè)需求，攻克技術(shù)壁壘，推陳出新，為客戶解決一個(gè)又一個(gè)精密定位技術(shù)的難題。

 

本次為大家介紹一款一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺(tái)-XD605.X90。產(chǎn)品外觀如下圖所示。
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X向運(yùn)動(dòng)、大負(fù)載


XD605.X90可實(shí)現(xiàn)一維X向直線運(yùn)動(dòng)，行程可達(dá)到95μm，負(fù)載可達(dá)10kg，分辨率可達(dá)3nm，為大負(fù)載應(yīng)用提供更優(yōu)質(zhì)的解決方案。


電容式傳感器


XD605.X90閉環(huán)版本采用電容傳感，閉環(huán)線性度可達(dá)0.021%F.S.，閉環(huán)重復(fù)定位精度可達(dá)0.005%F.S.，由于電容式傳感器是根據(jù)兩個(gè)電極之間的電容變化來測量物理量，所以它不受溫度、磁場環(huán)境等因素影響，在精度、響應(yīng)速度、穩(wěn)定性、可靠性和成本方面具有很多優(yōu)勢(shì)。


三種位姿、易使用


XD605.X90它在使用放置方式上進(jìn)行突破，可正立、側(cè)臥、倒置三種位置使用，可滿足更多設(shè)備或系統(tǒng)對(duì)負(fù)載位姿的要求。
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產(chǎn)品應(yīng)用


顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。


技術(shù)參數(shù)


 

型號(hào)

XD605.X90C/K

運(yùn)動(dòng)自由度

X

驅(qū)動(dòng)控制

1路驅(qū)動(dòng)，1路電容傳感

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）

76μm

行程范圍（0~150V）

95μm

傳感器

CAP/-

分辨率

3nm

閉環(huán)線性度

0.02%F.S./-

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.005%F.S./-

俯仰

<5μrad

偏航

<5μrad

滾動(dòng)

<5μrad

空載諧振頻率

615Hz

帶載諧振頻率@5kg

310Hz

閉環(huán)階躍時(shí)間@5kg

8ms@20μm

承載能力

正立10kg

臥式5kg

倒置10kg

靜電容量

37μF

材質(zhì)

鋁合金

重量（含線）

5.7kg

 







配套控制器


E53.D1C-H系列壓電控制器是一款模擬與數(shù)字式控制器，具有閉環(huán)伺服控制功能，是專為驅(qū)動(dòng)配備電容式傳感器的壓電產(chǎn)品而研發(fā)設(shè)計(jì)。外形尺寸為148×125×27.5mm，供電為24VDC/1.5A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域，可快速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，且體積小巧，易于集成。
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XD605.X90C電容式壓電平臺(tái)與E53.D1C-H電容閉環(huán)壓電控制器

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