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本次給大家介紹一款電動壓電螺釘調(diào)平臺——ZT50N81K8，它是專為三軸調(diào)平而設(shè)計，具有三個直線促動點(diǎn)，通過二維θx、θy 偏轉(zhuǎn)和 Z 向升降運(yùn)動可對載物臺進(jìn)行調(diào)節(jié)，其主要的特點(diǎn)就是定位精度高，承載能力強(qiáng)，電動操作更便捷，因其高精度、可控性強(qiáng)、實用性高，因而廣泛應(yīng)用于科研、激光應(yīng)用、工業(yè)自動化等領(lǐng)域。

ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺臺面直徑160mm，直線行程可達(dá)3mm，θx、θy 偏轉(zhuǎn)角度為±1.5°，角分辨率可達(dá)0.3μrad，承載可達(dá)2kg，具有出色的長期穩(wěn)定性，且能在斷電情況下繼續(xù)保持在設(shè)定位置，斷電自鎖。實物外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 三維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動

• 亞微弧度角分辨率

• 斷電自鎖

• 電動操作更靈活

產(chǎn)品應(yīng)用

• 科學(xué)研究

• 光學(xué)

• 實驗室系統(tǒng)結(jié)構(gòu)搭建

• 三軸調(diào)平

• 晶圓調(diào)平

• 工業(yè)應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)

型號	ZT50N81K8
臺面直徑	160mm
運(yùn)動自由度	θx、θy、Z
電動軸	3個
角度范圍	±1.5°
直線行程	3mm
直線運(yùn)動方向	Z
角分辨率	0.3μrad
承載能力	2kg
促動器	壓電螺釘促動器
工作溫度	10~40℃
重量	1800g
壓電螺釘連接器	RJ11

半導(dǎo)體領(lǐng)域調(diào)平

ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺以其高精度、大行程及多維運(yùn)動，使其非常適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的調(diào)平，例如晶圓調(diào)平等。

配套控制器

芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅(qū)動ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺，采用24VDC供電，4通道版本可使用切換方式驅(qū)動4支壓電螺釘，采用數(shù)字信號控制，與壓電螺釘間可通過網(wǎng)口連接，且體積小、易集成。

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