X軸大行程壓電納米定位臺
P60.X250是高精度的一維X向壓電納米定位臺,平臺采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結構,內置高性能壓電疊堆陶瓷,具有非常高的線性度,運動行程可達330μm,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。
P60.X250可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器(SGS),以消除熱漂移,使得該系列納米定位臺可以實現非常高的線性度與重復度。同時,其抗震動的設計,非常適用于相關實驗及應用環(huán)境。
特點
• X向運動
• 行程可達330μm
• 抗振動設計
• 兩通道控制(含1路恒壓)
• 差分驅動
• 快速響應
應用
• 計量/干涉
• 納米定位
• 質量保證測試
• 精密控制
電壓位移曲線
階躍時間曲線
P60.X250S帶載200g,小幅值階躍時間可達20ms。
技術參數
運動自由度:X
行程范圍(0~120V):±130μm
行程范圍(0~150V):±165μm
傳感器:SGS
閉/開環(huán)分辨率:12/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.04%F.S.
俯仰/偏航/滾動:<10μrad
推/拉力:300/30N
運動方向剛度:1.2 N/μm
空載諧振頻率:490Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間:80/40ms
承載能力:0.6kg
靜電容量:24.6μF
工作溫度:-40~+80℃
抗振設計:半正弦15g,11ms
后峰鋸齒波20g,11ms
材質:鋼、鋁
重量:950g
推薦控制器
P60.X250為一維X向差分驅動定位臺,需配套兩通道(含一路恒壓)控制器,可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器,同時驅動兩臺P60.X250,實現精密運動控制。