壓電陶瓷致動器的直線運動應用
壓電陶瓷致動器做為相關(guān)應用技術(shù)時,通常要求運動幾納米或更高的分辨率,亞毫米或微米級行程范圍的應用在線性運動中并不少見。為了說明這一點,下面是一些行業(yè)和應用的例子,在這些行業(yè)和應用中,壓電陶瓷致動器通常是優(yōu)秀解決方案。
微升和納升分配
當需要分配微升或納升體積時,它需要精確的運動來控制分配,由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓,改變其位移的大小和速率,從而達到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積,致動器的工作頻率控制流量,壓電陶瓷致動器具有分辨率高、體積小易于集成、功耗低等優(yōu)點。
微定位和納米定位
在顯微鏡、診斷和高精度制造應用中,通常需要納米級的分辨率。例如,導光板加工需要將加工刀頭定位在距離工件只有幾微米的距離,在高頻率和亞納米分辨率的范圍內(nèi)進行加工運動。壓電陶瓷致動器是為數(shù)不多的能夠滿足這些要求的運動裝置之一,其高諧振頻率為控制回路提供了穩(wěn)定性。
減震抑振
壓電堆疊致動器可以輸出幾千牛頓的力,可以用于精密工作臺或其他振動敏感設備的主動減振,使其成為理想的減振裝置。例如,可以在機床中集成壓電陶瓷致動器,以在機床的控制回路中產(chǎn)生反向運動,減輕振動,從而提高加工精度和工件質(zhì)量。
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