壓電物鏡定位器結(jié)合二維壓電掃描臺用于光學顯微成像
光學顯微成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光,通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向超精密運動,XY二維壓電掃描臺帶動樣品實現(xiàn)高精度的二維平臺位移運動,可使觀測精度達納米級。
光學顯微成像原理
壓電物鏡定位器
壓電物鏡定位器
芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設計的Z軸運動壓電物鏡定位器,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設計,無摩擦,物鏡補償量小,具有超高聚焦穩(wěn)定性。聚焦范圍可達 500μm,負載可達500g。分立式螺紋設計,可適配多種型號的物鏡,也可選擇螺紋牙轉(zhuǎn)接器進行轉(zhuǎn)接。物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度。
壓電掃描臺
芯明天二維壓電掃描臺具有中心通孔,采用直驅(qū)或機構(gòu)放大原理,柔性鉸鏈支撐傳動,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,掃描范圍可達375μm,分辨率可達0.1nm,多種通孔尺寸可選。主要應用于透光精密光學器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學顯微系統(tǒng)成像等。
驅(qū)動控制
壓電物鏡定位器結(jié)合二維壓電掃描臺可選配三通道壓電控制器進行驅(qū)動控制,可根據(jù)開閉環(huán)、階躍時間等參數(shù)要求選擇不同型號的控制器。
芯明天E01.D3與E70.D4S壓電控制器
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