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壓電陶瓷驅(qū)動微位移定位系統(tǒng)

更新時間: 2019-08-05

在精密加工、微電子、生物工程、醫(yī)療科學(xué)等各個領(lǐng)域,微位移定位技術(shù)都得到了廣泛的應(yīng)用。如用于電化學(xué)加工、微雕刻;用于微機電系統(tǒng)的加工與裝配;在掃描探針顯微鏡中,用于測量樣品表面形貌等等。

這些領(lǐng)域的發(fā)展對微位移定位技術(shù)提出了高分辨率、高精度、高頻響等要求。芯明天微位移定位系統(tǒng)采用直驅(qū)或機構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源,無摩擦無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)支撐傳動,使其具有分辨率高、響應(yīng)速度快、無機械摩擦、不受磁場干擾等特點,在上述等領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。

<< 芯明天壓電陶瓷及柔性鉸鏈

芯明天壓電疊堆陶瓷具有優(yōu)異性能及超長使用壽命,多種尺寸及位移集成到微位移定位系統(tǒng)中可滿足不同應(yīng)用的需求。柔性鉸鏈機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦,適合與壓電陶瓷組成分辨率高,頻響高的超高精度微位移定位系統(tǒng)。

<< 芯明天微位移定位系統(tǒng)

壓電納米定位臺

芯明天壓電納米定位臺可實現(xiàn)X、Z、XY、XZ、XYZ方向精密運動,運動范圍大可達375μm,分辨率可達0.1nm。中心通孔版本,非常適用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像等系統(tǒng)。

壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/ 測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡

壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,確保實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的不錯選擇。

壓電控制器

芯明天壓電控制器通過模擬輸入或數(shù)字輸入控制,具有功率放大功能,且輸出電壓及輸出頻率可調(diào),控制壓電運動產(chǎn)品運動速度及幅度。根據(jù)結(jié)構(gòu)形式主要分為模塊化式、集成式、工業(yè)式、小體積等。多種控制方式及通道數(shù)可選。

芯明天科技,專業(yè)提供壓電納米運動與控制系統(tǒng)解決方案!

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