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P12 系列壓電掃描臺(tái)(放大機(jī)構(gòu)式)

更新時(shí)間: 2019-03-26

P12 系列壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、1~3 維并聯(lián)式平移掃描臺(tái),臺(tái)體中心圓形通孔孔徑可選 25mm 或 35mm,滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)單軸 320μm 的位移行程,一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動(dòng)無耦合、多種規(guī)格型號(hào)可選,以滿足不同應(yīng)用的需求。

 

特點(diǎn)

• 1~3 維

• 大位移 320μm

• 大承載 0.8kg

• 臺(tái)體中心通孔

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

1~3 維掃描臺(tái)

P12 系列壓電納米定位臺(tái)為 1~3 維直線壓電掃描臺(tái),包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等多種規(guī)格型號(hào),通孔直徑 25mm 或 35mm 可選。

小體積、大位移、中心通孔

P12 系 列 壓 電 掃 描 臺(tái) 采 用 機(jī) 構(gòu) 放 大設(shè) 計(jì) 原 理, 超 小 的 體 積 外 形, 尺 寸 僅 為60×60×24mm,可以實(shí)現(xiàn)大 320μm 的掃描范圍,中心通孔可選 25mm 或 35mm,35mm通孔對(duì)應(yīng)臺(tái)體外形尺寸為 70×70×24mm。

臺(tái)體采用 FEA 有限元分析優(yōu)化設(shè)計(jì),具有零摩擦、超高導(dǎo)向精度、納米級(jí)分辨率等優(yōu)點(diǎn)。P12 系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷,確保了掃描臺(tái)的可靠性與穩(wěn)定性。

閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間

 

P12 系列壓電掃描臺(tái)具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性,下圖為 P12.X100S 負(fù)載 125g 達(dá)大位移 110μm,閉環(huán)穩(wěn)定時(shí)間約 20ms。

閉環(huán)線性度

 

開 / 閉環(huán)曲線

 

典型應(yīng)用

• 掃描干涉

• 共焦顯微

• 晶圓定位

• 表面測(cè)量

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 光學(xué)捕獲

 

頻率負(fù)載曲線

 

技術(shù)參數(shù)

 

位移測(cè)量

 

出廠前使用電容測(cè)微儀進(jìn)行位移測(cè)量

應(yīng)用案例

 

倒置顯微物鏡

 

P12.XYZ100S 應(yīng)用于熒光顯微

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