P78系列壓電顯微樣品臺
P78 壓電掃描臺是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計的用于樣品顯微掃描的一維 Z 軸壓電掃描臺,它的外形結(jié)構(gòu)易集成于顯微儀器設(shè)備中。
<<特點
· 一維 Z 向運(yùn)動
· Z 向分辨率可達(dá)4nm
· 通孔尺寸為120×70mm
· 行程范圍110μm
<<應(yīng)用
顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D 成像、篩選、干涉測量、測量技術(shù)、自動聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測試等。
P78 壓電掃描臺對于納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用是非常理想的。可選配橋式配置的閉環(huán)傳感器,可消除溫度漂移,保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時,通過FEA 優(yōu)化了直線度與平面度,為運(yùn)動方向及垂直運(yùn)動方向上提供了較高的剛度。并聯(lián)運(yùn)動學(xué)設(shè)計,使其結(jié)構(gòu)更緊湊、響應(yīng)速度更快。
<<大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78 系列壓電掃描臺,采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理,可以實現(xiàn)Z軸110μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng)時間。
P78 系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器,對位移實現(xiàn)實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器,實現(xiàn)納米級精密控制。掃描臺臺體中心通孔尺寸為120×70mmmm,適用于干涉、掃描、表面檢測等應(yīng)用。
<<開/閉環(huán)曲線
<<階躍時間
<<技術(shù)參數(shù)
哈爾濱芯明天科技有限公司(maritim.com.cn)主營:壓電促動器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權(quán)所有 ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng) 網(wǎng)站地圖