壓電掃描臺|二維XY向直線運(yùn)動
P18.XY300S壓電掃描臺為二維XY運(yùn)動閉環(huán)直線掃描臺,采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)部以高可靠性的壓電陶瓷為驅(qū)動源,可以實(shí)現(xiàn)370μm/軸的高速掃描,通光孔徑為Ø35mm,非常適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。
特點(diǎn)
位移可達(dá) 370μm
承載可達(dá)1.5kg
通孔直徑:Ø35mm
閉環(huán)重復(fù)定位精度高
響應(yīng)速度快
階躍時間
單點(diǎn)定位應(yīng)用,P18.XY300S 帶載 100g 負(fù)載階躍時間 60ms。
配套控制器
P18.XY300S二維壓電掃描臺需要三個輸出通道的壓電控制器進(jìn)行驅(qū)動控制,其中兩個通道為可變0~120V輸出,另一通道為120V恒壓輸出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1壓電控制器,可滿足P18.XY300S的各項參數(shù)要求。
應(yīng)用實(shí)例-納米光刻
在納米光刻實(shí)驗(yàn)中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動,從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用于納米光刻實(shí)驗(yàn)。
典型應(yīng)用
圖像處理與穩(wěn)定
掃描顯微
干涉/計量
表面檢測
光學(xué)計量
半導(dǎo)體測量
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