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芯明天壓電精瞄鏡

更新時(shí)間: 2019-02-18

芯明天壓電精瞄鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動,補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運(yùn)動精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P22系列

運(yùn)動自由度:θx

光束偏轉(zhuǎn)范圍:8mrad

分辨率:0.1μrad

空載階躍時(shí)間:0.8ms

 

P33系列

運(yùn)動自由度:θx θy

光束偏轉(zhuǎn)范圍:27mrad

分辨率:0.02μrad

空載階躍時(shí)間:1ms

 

P34系列

運(yùn)動自由度:θx θy

光束偏轉(zhuǎn)范圍:12mrad

分辨率:0.02μrad

空載階躍時(shí)間:1ms

 

P31系列

運(yùn)動自由度:θx θy

光束偏轉(zhuǎn)范圍:50mrad

分辨率:1μrad

空載階躍時(shí)間:3.2ms

 

P35系列

運(yùn)動自由度:θx θy 

光束偏轉(zhuǎn)范圍:50mrad

偏轉(zhuǎn)分辨率:1μrad

空載階躍時(shí)間:0.88ms

 

P32系列

運(yùn)動自由度:θx θy Z

光束偏轉(zhuǎn)范圍:12mrad

直線行程:40μm

偏轉(zhuǎn)分辨率:0.05μrad

直線分辨率:0.5nm

空載階躍時(shí)間:2ms

 

P36系列

運(yùn)動自由度:θx θy Z

光束偏轉(zhuǎn)范圍:1.6mrad

直線行程:12μm

偏轉(zhuǎn)分辨率:0.02μrad

直線分辨率:0.1nm

空載階躍時(shí)間:0.5ms

 

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