P13三維小體積壓電納米定位臺
P13系列三維壓電納米定位臺內(nèi)部采用的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),具有超高導(dǎo)向精度、負(fù)載能力大、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。同時(shí)具有的控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級。壓電定位臺采用無磁材質(zhì),在使用過程中不受磁場影響,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,非常易于集成。
P13納米定位臺體積非常小巧,尺寸僅為35×35×36mm,非常易于集成到任何掃描儀器中。同時(shí)P13為超高精密納米定位系統(tǒng),是為AFM、SPM、STM等顯微掃描等應(yīng)用專門設(shè)計(jì)的,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.8ms,可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。
技術(shù)參數(shù)
推薦控制器
E01.D3
3路輸出
旋鈕、模擬、上位機(jī)通信
開環(huán)/閉環(huán)
平均功率7W/通道
E70.S3
3路輸出
模擬與數(shù)字控制
開環(huán)/閉環(huán)
平均功率5W/通道
E72.S3
3路輸出
模擬、上位機(jī)通信控制
開環(huán)/閉環(huán)
平均功率6W/通道
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