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壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)超精密定位

更新時(shí)間: 2018-12-17

近年來,隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,在半導(dǎo)體、精密測(cè)量、超精密加工和納米技術(shù)等領(lǐng)域?qū)Χㄎ痪扔兄絹碓絿?yán)苛的限制,這就需要高性能的超精密壓電定位臺(tái)作為技術(shù)。

為了實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位,需要高精度的驅(qū)動(dòng)方式和傳動(dòng)方式,使定位臺(tái)達(dá)到納米級(jí)的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺(tái)利用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為傳動(dòng)裝置構(gòu)成超精密定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精密定位。

芯明天納米定位臺(tái)采用的是柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。

 

柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦,適合與壓電陶瓷組成分辨率高,頻響高的超高精度納米定位臺(tái)。同時(shí)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊,避免壓電陶瓷承受拉力,提高壓電納米定位臺(tái)的使用壽命。

芯明天壓電納米定位臺(tái)

芯明天壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運(yùn)動(dòng),具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有*的可靠性。

 

產(chǎn)品應(yīng)用

超精密測(cè)量

采用芯明天壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測(cè)控制,從而完成1mN的力控制實(shí)驗(yàn)。

 

超精密機(jī)械加工

壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)刀具微納米級(jí)進(jìn)給,從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)非球面、微結(jié)構(gòu)及模具納米級(jí)超精密加工。

 

 

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