壓電掃描臺的特點和應用
產(chǎn)品特點:
1-3維運動
zui大運動范圍370μm
一體式結構設計,多維運動無耦合
zui大透光孔徑35mm
閉環(huán)精度可達0.15%F.S.
應用:
原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對接 納米光刻
壓電掃描臺中心具有通孔,臺體集成高精度傳感器,采用柔性鉸鏈設計、無機械摩擦、分辨率高。產(chǎn)品主要應用于透光精密光學器件的定位,生物顯微與顯微成像系統(tǒng)。壓電掃描臺包括一維、二維、三維三種運動形式,zui大運動范圍可達370μm。P-78壓電掃描臺,采用一體式設計,柔性鉸鏈機構, XYZ三維運動無耦合,無機械摩擦,響應速度快,滿足不同應用的需求。
哈爾濱芯明天科技有限公司專業(yè)致力于壓電納米定位系統(tǒng)的研發(fā)生產(chǎn)與銷售。十余年的行業(yè)經(jīng)驗、專業(yè)的研發(fā)團隊、雄厚的研發(fā)實力、完善的管理體系、可靠的品質(zhì)保障為您提供壓電納米定位技術解決方案!