產品名稱:H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
產品型號:
產品特點:H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺,是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運動工作臺,通過六支壓電促動器的協調伸縮實現空間內六個自由度的運動,臺體結構緊湊,三種規(guī)格型號可供選擇,閉環(huán)型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用。
更新日期:2023-09-21
H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
H61.XYZTR0壓電偏擺臺可產生六軸的超精密運動用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉,中心50mmx50mm的通孔,適于透射光應用。
特點
·六軸運動
·高承載能力
·正向靜態(tài)使用
·可選配閉環(huán)傳感器
典型應用
·六軸超精密位置調整
·棱鏡位置調整
·光學應用
·透射光應用
H61.XYZTR1六軸壓電偏擺臺
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