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XP-611.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 100μmXP-611.XYZ壓電納米定位臺為三維XYZ軸運(yùn)動壓電平移臺，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)XYZ三軸100μm 的位移行程，柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)無摩擦、無后坐力?？蛇x擇閉環(huán)版本定位精度高，是三維精密定位與掃描的理想選擇。

XP-611.XYZ三維XYZ向運(yùn)動納米平移臺，產(chǎn)品體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，是1~3維平面精密定位理想的選擇。例如干涉光路長度校準(zhǔn)、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。XP-611.XYZ為壓電驅(qū)動、無摩擦、柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)納米級分辨率和毫秒的響應(yīng)時間。

XP-611.XYZ三維XYZ向壓電納米定位臺 100μm

特性

• 三維XYZ軸運(yùn)動                   • 位移行程100μm                   • 小體積                   • 毫秒級響應(yīng)速度                   •  納米級定位精度